类型 | 设备名称 | 数量 | |
1 | 光刻 | 步进光刻机 | 1 |
2 | 自动涂胶显影机（SiC） | 1 | |
3 | CD-SEM | 1 | |
4 | UV-annealing | 1 | |
5 | 套刻缺陷仪 | 1 | |
6 | 半自动匀胶显影机 | 1 | |
7 | 高温烘箱 | 1 | |
8 | 湿法清洗机（光刻版清洗机） | 1 | |
9 | 湿法清洗机（备件清洗机） | 1 | |
10 | 离子注入 | 高温高能离子注入机（SiC） | 1 |
11 | 常温离子注入机（SiC） | 1 | |
12 | 退火 | 快速退火炉（RTP） | 1 |
13 | 激光退火台 | 1 | |
14 | 高温退火炉（激活） | 1 | |
15 | 氧化 | 高温氧化炉 | 1 |
16 | 氧化炉（三管） | 1 | |
17 | 划片 | SiC晶圆划片设备 | 1 |
18 | 清洗 | 清洗设备(SiC) | 1 |
19 | 槽式湿法腐蚀机 | 1 | |
20 | 槽式RCA清洗机 | 1 | |
21 | 槽式湿法去胶机 | 1 | |
22 | 槽式有机清洗机 | 1 | |
23 | 单片金属剥离机 | 1 | |
24 | 单片清洗机 | 1 | |
25 | 片盒清洗机 | 1 | |
26 | 炉管清洗机 | 1 | |
27 | 甩干机 | 1 | |
28 | 刻蚀 | ICP刻蚀系统-三腔（poly,SiO2,Si3N4,深硅刻蚀) | 1 |
29 | ICP刻蚀机(Al) 单腔 | 1 | |
30 | ICP刻蚀机(肖特基金属) 单腔 | 1 | |
31 | ICP刻蚀机(SiC) | 1 | |
32 | 介质刻蚀机-金属后（两腔） | 1 | |
33 | 薄片单片刻蚀机单腔 | 1 | |
34 | 干法清洗机/去胶机（SiC) | 1 | |
35 | 备用 | 光谱椭偏仪 | 1 |
36 | 贴膜机 | 1 | |
37 | 通风橱 | 1 | |
38 | 脱膜机 | 1 | |
39 | 尾气处理 | 1 |
